神栄が急反発、産総研と共同研究の微量水分計の製品化を材料視
産業技術総合研究所の研究グループとの共同研究により、製造現場の要望に対応できるキャビティリングダウン分光法(CRDS)を用いた小型微量水分計「DewTracer(デュートレーサー) mini CRDS-H2O」の開発と量産化に成功した。今年7月より販売を開始する。
半導体やバッテリーなどの製造プロセスでは、極めて微量な水分が歩留まりや品質に大きな影響を及ぼす。このため半導体製造工程で使用されるガスメーカーなどから、微量水分計測器の実用化と国産計測器の量産化が強く求められていたという。
出所:MINKABU PRESS
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