ニレコは一時S高、半導体検査装置向けに「超広帯域位相子」を開発と報じられる
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記事によると、半導体の微細化が進展するなか、半導体の製造装置や検査機では従来の位相子より短い真空紫外線の波長を使って露光や検査をする必要があるという。光学技研が今回開発した位相子は制御できる波長の帯域が広く、コンパクトで使い勝手も良いことから、こうしたニーズへの対応に役立つとみられており、今後半導体の製造や検査機器メーカーに提案するとしている。
出所:MINKABU PRESS
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