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    東邦金属の【黒鉛とモリブデン合金を接合】

    今回発表された【黒鉛とモリブデン合金を接合する部品】が使われる製品には、核融合炉以外にも下記のようなものがあります。 【半導体製造装置】半導体製造装置には、ウェハーを加熱するためのホルダーやボート、ダイのマウントに使用されます。黒鉛は高温に強く、熱膨張率が低いため、高温環境下でのウェハーの加熱に使用されます。一方、モリブデン合金は、高温下での酸化に強く、真空環境下でも酸化しないため、真空状態での半... ...続きを読む

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