大日印が堅調推移、先端半導体向けナノインプリント用テンプレートを開発
EUV(極端紫外線)リソグラフィーの一部工程の置き換え需要や、EUVリソグラフィーの生産プロセスを持たない顧客のニーズに対応。従来のArF(フッ化アルゴン)液浸やEUVなどの露光工程と比較し、電力消費量を約10分の1に抑えることができるという。大日印は2027年の量産開始を目指し、30年度にNILにおいて40億円の売り上げ増加を目指す。
出所:MINKABU PRESS
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