リンテックは一段高、EUV露光機用ペリクルの量産体制確立に向けた取り組みを強化
同社は23年10月から産業技術総合研究所の先端半導体研究センターと共同研究を推進しており、今年7月には同社グループが独自開発したCNT(カーボンナノチューブ:筒状炭素分子)製ペリクルの量産機の立ち上げに成功。これらの研究成果をもとに量産化の見通しが立ったとしており、25年度内の量産体制の確立及び早期の社会実装につなげるとしている。
出所:MINKABU PRESS
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