レーザーテックが反発、米フォトロニクスから10.5世代用FPDフォトマスク欠陥検査装置など受注
今回受注したのは、第10.5世代用のFPDフォトマスク欠陥検査装置や、ペリクル検査/貼り付けシステム、およびFPDマスクブランクス欠陥検査装置など。これら検査装置により、10.5世代用の大型フォトマスクであっても、高感度かつ高スループットな欠陥検査を実現し、マスクへの異物付着リスクを最小化することが可能としており、今後の受注の広がりが期待されている。
出所:株経ONLINE(株式会社みんかぶ)
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