アルバックが参画する圧電MEMS技術の進展に向けたプロジェクト「Lab-in-Fab」が新たなフェーズに

株式会社アルバックは、2020年から参画している圧電MEMS*1技術の共同開発プロジェクト「Lab-in-Fab（ラボ・イン・ファブ）」が新たなフェーズに移行し、引き続きこの取り組みに参加することを発表しました。アルバックは装置メーカーとして、圧電MEMSの成膜・加工技術を提供し、圧電MEMSの商業化を支えています。

Lab-in-Fabは、世界的な半導体リーダーであるSTマイクロエレクトロニクスのシンガポール・アンモーキオ・キャンパスを拠点に展開されている共同研究プロジェクトであり、圧電MEMSデバイスの開発から製造までを一貫して実証できる体制が整っています。シンガポールの官民が連携する半導体分野の研究開発拠点として、大学やスタートアップ、中小企業、多国籍企業との技術連携を促進しながら、新技術の商業化支援や人材育成を通じて、圧電MEMS分野の発展に貢献しています。

2020年に開始された初期フェーズでアルバックは、STマイクロエレクトロニクスとシンガポール科学技術研究庁（A*STAR）傘下のInstitute of Microelectronicsと連携し、環境負荷の軽減を目的に、鉛の使用量を大幅に抑えたチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）薄膜の製造技術を開発しました。今回の新フェーズでは、A*STARのInstitute of Materials Research and Engineering、およびシンガポール国立大学が新たに参画し、鉛フリーの環境配慮型材料の研究開発や、小型・低コストのセンサー、アクチュエーターの実現に取り組んでいます。

アルバックの執行役員で電子機器事業部長の岩井治憲は、「この画期的なプロジェクトに引き続き参画し、圧電MEMS分野の製造技術ソリューションにおいて当社の専門性を発揮できることを大変光栄に思います」と述べています。

今後もアルバックは、装置技術の革新とグローバルな連携を通じて、お客様やパートナーと共に次世代のものづくりの実現に貢献してまいります。



*1　圧電MEMS：Piezoelectric MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)。極微小な圧力や振動を高感度で電気信号に変換できる次世代デバイスで、ウェアラブル機器、音声インターフェース、医療モニタ、ロボティクス、通信機器などの小型化・高性能化を支えるキーテクノロジーとして注目されています。