アルバックが反発、半導体向け成膜装置新モデルの受注受け付けを開始
新モデルは、従来モデル「ENTRON-EX W300」の特徴を継承しつつ、強化されたデータインテリジェンスと拡張性を有する次世代プラットフォームとして開発。従来モデルの生産性と柔軟性を継承しながら、データ収集・解析能力を強化したほか、拡張性の高い装置設計を採用することで、次世代の半導体製造をサポートするとしている。
出所:MINKABU PRESS
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