総投資額は500億円強、生産能力は現在の2倍に高まるもよう。2025年春の稼働を目指しているようだ。増産するのは半導体の回路形成に使う露光装置で、「ナノインプリント」と呼ばれる技術を使った次世代装置も開発を進め、生産を視野に入れているようだ。成長分野への積極展開をポジティブに捉える動きが先行している。 <YN>
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