Vテクは6日続伸、集束イオンビームフォトマスク修正装置「Draco」初号機を受注
同製品は高精細かつ高い位置精度で欠陥の修正やパターンの描画が可能な構成であり、加えて、局所真空技術による省スペース・低ランニングコストなどの点でも優れているとした。昨年12月21日にフォトマスク製造プロセスの発展に貢献する製品としてリリースし、多くの顧客によるテストでは、欠陥修正性能、省スペース性、使いやすさなどで高い評価を得たとしている。
出所:MINKABU PRESS
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